製品の特徴

• 1.業界No.1ロードポートメーカーによる装置設計
• 300mm用ウエハにおける2001年発売以来の実績と経験により、テープフレームロードポートの基礎を確立。
• ■300mm用ロードポート累計15万台以上の販売実績に基づいた信頼性の高い設計
• ■オープンカセットからFOUPへの移管により、 ISO Class4-5を実現
• 2.高い互換性一各社FOUPに対応
• FOUPごとの微差 (公差) に対応する独自機構が、 FOUPとロードポートの衝突を防ぎ、確実なラッチキー挿入で、高い互換性を実現。
• ■主要2社のFOUPメーカーに対応 (2025年4月現在)
  ISEMI E185 FOUPに対応予定 (2025年4月現在)