製品の特徴

• 1.業界No.1ロードポートメーカーによる装置設計
• 300mm用ウエハにおける2001年発売以来の実績と経験により、 PLPロードポートの基礎を確立。
• ■300mm用ロードポート累計15万台以上の販売実績に基づいた信頼性の高い設計
• ■フレキシブルマッピングなど充実したオプションラインナップ
• 2.高い互換性一各社FOUPに対応
• FOUPごとの微差 (公差) に対応する独自機構が、 FOUPとロードボートの衝突を防ぎ、 確実なラッチキー挿入で、 高い互換性を実現。
• ■600mm×600mm及び510mm×515mmに標準対応
• ■世界シェアNo.1の導入実績 *
  *2018年発売以来、 通算1,000台以上 (2025年4月現在)
• 3. パーティクルを極限まで排除するパージシステム
• 300mm用ロードポートで培った技術を基に、 多様なパージシステムを実現
  ■フロント/ボトムバージなど用途に合わせたバージシステムを展開