製品の特徴

• 1.業界No.1ロードポートメーカーによる装置設計
• 300mm用ウエハにおける2001年発売以来の実績と経験により、SMIFロードポートの基礎を確立。
• ■300mm用ロードポート累計15万台以上の販売実績に基づいた信頼性の高いE4ベース設計
• ■将来的に、300mmFOUPへの製造対応可能
• 2.拡張性
• ベース機がTDK製標準E4タイプのため、 将来の投資についても拡張可能
• ■SEMI E63300mm インターフェース BOLTS-Mに準拠
• ■ 将来的に、 300mmFOUPへの製造対応可能 FOUPに対応予定(2025年4月現在)
• 3. 多様なオプション
• FOUPごとの微差 (公差) に対応する独自機構が、 FOUPとロードポートの衝突を防ぎ、確実なラッチキー挿入で、高い互換性を実現。
• ■主要2社のFOUPメーカーに対応 (2025年4月現在)
  ISEMI E185 FOUPに対応予定 (2025年4月現在)